Theoretical Modal Analysis and Parameter Study of Z-shaped Electrothermal Microactuators

Publikation: Bidrag til tidsskrift/Konferencebidrag i tidsskrift /Bidrag til avisTidsskriftartikelForskningpeer review

DOI

  • Zhuo Zhang, Beijing University of Technology
  • ,
  • Yueqing Yu, Beijing University of Technology, Danmark
  • Xuping Zhang
OriginalsprogEngelsk
TidsskriftMicrosystem Technologies: Micro- and Nanosystems Information Storage and Processing Systems
Vol/bind24
Nummer7
Sider (fra-til)3149-3160
Antal sider12
ISSN0946-7076
DOI
StatusUdgivet - 2018

Se relationer på Aarhus Universitet Citationsformater

ID: 120064657