Pulsed DC magnetron sputtered Al2O3 films and their hardness

Madana G. Sridharan, Michael Brammer Sillassen, Jørgen Bøttiger, Jacques Chevallier, Henrik Birkedal

    Publikation: Bidrag til tidsskrift/Konferencebidrag i tidsskrift /Bidrag til avisTidsskriftartikelForskningpeer review

    OriginalsprogEngelsk
    TidsskriftSurface & Coatings Technology
    Vol/bind202
    Nummer4-7
    Sider (fra-til)920-924
    StatusUdgivet - 2007

    Citationsformater