Low surface damage dry etched black silicon

Maksym M. Plakhotnyuk*, Maria Gaudig, Rasmus Schmidt Davidsen, Jonas Michael Lindhard, Jens Hirsch, Dominik Lausch, Michael Stenbæk Schmidt, Eugen Stamate, Ole Hansen

*Corresponding author af dette arbejde

Publikation: Bidrag til tidsskrift/Konferencebidrag i tidsskrift /Bidrag til avisTidsskriftartikelForskningpeer review

OriginalsprogEngelsk
TidsskriftJournal of Applied Physics
Vol/bind122
Nummer14
ISSN0021-8979
DOI
StatusUdgivet - 2017

Citationsformater